干式真空泵的分類

干式真空泵
在過去的分類、油真空泵被廣泛應用于各種半導體工藝和真空泵和活塞式真空泵是重要的代表。而且它們在各種應用中的體現不能讓人感到驕傲。因此，干式真空泵應運而生。在過去的年中，有幾個不同的例子，干式真空泵的計劃和生產，他們有顯著的差異，在機器布局計劃。由于這種區(qū)別，我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種：圓形葉型、爪型、組合型（根爪）、螺桿式。如今，這些例子被不同廠家廣泛使用。圓形，爪和組合（根爪）被稱為多級泵。由于它們的方法基本相似，真空被多級真空室反復壓縮產生真空。在重復壓縮的過程中，氣體的溫度和壓力也會發(fā)生很大的變化，從而更容易改變氣體的物理性質。螺桿式泵稱為單級泵，因為它只能由真空腔產生真空。根據氣體壓縮法的不同，可分為內壓式螺桿泵和外壓式螺桿泵。這里有一些這些差分泵的物理實例，期待為他們提供資金。
雙峰方案是羅茨泵是目前最流行和廣泛使用的非常相似。事實上，最早的干泵計劃是將羅茨泵泵到一起。這種多級方案使氣體路徑非常大，每一級都需要較大的氮氣流量來稀釋和切斷。同時，為了獲得良好的真空，對所有級別的通關要求非常嚴格。當然，這種程序使得功耗相對較低，由于內部壓縮比的增加。
一三葉圓形方案的原理是完全一樣的，兩葉分割方案。它只把氣體分為三個部分，而不是一個圓形的圓瓣，它是兩個拷貝。三瓣環(huán)規(guī)劃和雙圓分裂方案具有相似的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低功耗，一些廠家在傳輸部門選擇兩臺直流電動機，但這也會導致轉矩下降和重新啟動的能力下降。以同樣的方式為雙圓裂計，每三裂片圓葉方案需要較大流量的氮氣稀釋效果。
組合式（根爪）計劃的進展具有較低壓力的爪子服從抽在羅瓷萊的領導下，服從在較高壓力下泵的進步。同類型程序葉前端氣路的基本原理。有些制造商將他們的最后階段改為類似于恒星的計劃，例如允許氣體在旋轉的循環(huán)中分成五個部分，如三輪計劃，可分為三個部分。同樣，在許多過程中，一個聯合計劃的每個階段都需要一個大流量的氮氣來稀釋和切斷。