干式真空泵如何進行優(yōu)化選擇

干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然目前還沒有使用，除了價格偏高之外，還有干式真空泵用戶不到位，看不到經(jīng)濟效益帶來的企業(yè)，小編這里專注于如何使干式真空泵優(yōu)化選擇？


有了這些不同類型的干式真空泵，我們一直都在渴望能夠減小其物理尺寸。然而，這與真空泵的抽氣速度相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的體積成比例。小的物理尺寸意味著音量也很小。當然，影響真空泵抽速的另一個重要因素是速度。為了使小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度一致，需要提高速度。而要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器;二是改變變速箱的比例。其中，使用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制，但容易導致重載下的轉(zhuǎn)矩損失。改變齒輪箱的齒輪比是一個非常經(jīng)濟的方法，當然它只能提供單一的速度不能被控制。


現(xiàn)在，你可以看到干式真空泵有這么多不同的設計，各有各的特點和優(yōu)缺點。歷史上，使用成本一直是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到，真空泵的穩(wěn)定性也應該被考慮在內(nèi)。因為真空泵意外錯誤會造成機器使用效率降低，影響晶圓的生產(chǎn)和交貨，甚至造成晶圓廢料和其他零件的加工損壞。由于螺桿設計采用單級設計，因此與多級泵（如球縫，爪和組合）相比，所用零件的數(shù)量可減少多達60％。這對穩(wěn)定性和未來的維護成本來說是一個很大的優(yōu)勢。


總的來說，如果用戶認為耗電量對他來說是最重要的，那么選擇一個內(nèi)部加壓螺釘可能是一個不錯的選擇，而氮含量對他來說是最不重要的。但總的來說，對尾氣處理的要求越來越嚴格，減少未來使用的氮氣量就顯得尤為重要。如果您想要處理各種各樣的半導體工藝，而不用一種簡單的庫存控制泵來改變它們，外部壓緊螺絲是最好的選擇。


根據(jù)情況，結(jié)合以上所有設計類型的優(yōu)勢必須是最大的理想的選擇，但還不可能。 因此，用戶需要知道干泵的設計有多種不同的設計類型，然后根據(jù)自己的工藝特點來了解不同類型泵設計的影響。 這種選擇可以使其使用成本最小化，并獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。